国产光刻突破！首个EUV光刻胶标准立项，北大实现分辨率优于5nm
另外在技术突破层面，本月早些时候，北京大学化学与分子工程学院团队，首次在原位状态下解析了光刻胶分子在液相环境中的微观三维结构、界面分布与缠结行为，分辨率优于5纳米。
国产光刻
拍卖行女老板跨界入局、打造“国产光刻设备第一股”，芯碁微装赴港二次IPO
芯碁微装是直写光刻行业的企业，为AI时代的先进信息技术产业提供核心设备。其凭借在核心高精度微纳光刻技术研发以及将自有技术应用于各种创新应用的成熟能力，致力于为全球客户制造、销售及维护直接成像及直写光刻设备。